原子层沉积系统

发布时间:2016-05-17访问量:34设置


仪器名称

原子层沉积系统

型号

Savannah-100

厂家

美国Cambridge Nano Tech公司

主要规格及技术指标

1. 具有4路前驱体源,其中1路不加热,另3路加热温度≥200 ℃。

2. 样品基底最大直径4英寸。

3. 最大沉积温度不高于300 ℃。

4.设备使用氮气做载气,控制载气流量10-1000 sccm

主要功能及应用范围

该原子沉积系统主要用于实验室级的薄膜制备,特别是致力于有机发光显示(OLED)的封装和场效应晶体管(FET)的介质层的层积。

主要附件

机械泵

彭明发

联系电话

65881259

E-mail

mfpeng@suda.edu.cn


责任编辑:彭明发

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