电子束蒸发镀膜机

发布时间:2016-05-17访问量:57设置


仪器名称

电子束蒸发镀膜机

型号

PVD75

厂家

科特莱思科(上海)商贸有限公司

主要规格及技术指标

1.基片尺寸≤Ф12英寸

3.极限真空度:5×10-5 Pa  

5.衬底温度:350 

7.样平台转速:≤20 r/min  

9.镀膜均匀性:±5%Al

2.电子枪功率:5-10 KW

4.真空抽速:3*10-4 Pa/20 min

6.温度均匀性:±10 

8.坩埚数量:4

10.控制系统:PC+PLC自动控制

主要功能及应用范围

电子蒸发镀膜机是一种普适镀膜机,用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀各种硬质膜、金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极,以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

主要附件

机械泵

彭明发

联系电话

65883196

E-mail

mfpeng@suda.edu.cn


 责任编辑:彭明发


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