热蒸发镀膜设备

发布时间:2016-07-01访问量:25设置


仪器名称

热蒸发镀膜设备

型号

NANO36

厂家

科特莱思科(上海)商贸有限公司

主要规格及技术指标

1.不锈钢正方形腔体;

2. 系统极限压强可达≤5×10-6Torr

3. 配有1组热蒸发源;1.5KW直流电源;

4. 带有可变速旋转样品台,电机驱动,最大转速 20rpm5. PLC触摸屏控制操作;

6. 4‘’基片成膜均匀性:优于±5%

主要功能及应用范围

蒸镀各种金属膜。主要用于制备纳米器件、有机光电器件的金属电极等

联系人

杨旭敏

联系电话

65884226

E-mail

xmyang@suda.edu.cn


责任编辑:杨旭敏

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